壓電式加速度傳感器的性能和參數與壓阻式加速度傳感器的性能和參數一樣，包括靈敏度、頻率響應、精度誤差等。但是，兩者性能有較大差別，氣動調節閥例如壓電式加速度傳感器是電容性的，高阻抗，而壓阻式加速度傳感器是電阻性，低阻抗;壓電式加速度傳感器的頻響范圍較窄，在恒定方向加速度下壓電式加速度傳感器不輸出信號，通常其頻響范圍為2～270Hz;壓電式加速度傳感器的誤差較小，通常約為壓阻式加速度傳感器的一半。